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全自动PECVD上下料机


 

功能布局图


整体效果图
1、产品概述
       ●PECVD石墨舟上下机是润微科技自主研发的光伏太阳能电池PECVD镀膜生产线全自动装片卸片配套的自动化配套设备。
       1.1主要功能
       ●集成系统,适用于太阳能硅电池片生产中管式PECVD石墨舟的全自动装卸片。
       ●石墨舟上下舟方式有:手动抬舟、石墨舟小车自动搬运上下舟两种。
       1.2基本组成
       ●PECVD石墨舟装卸片机PE-3800使用史陶比尔TX90L或EPSON世界领先技术智能六轴联动机器人,自动上花篮、自动出花篮系统,自动收集堆叠镀膜后的硅片。
       ●整机采用欧标全钢框架结构,全透明有机玻璃护罩;框架底部采用钢结构焊接表面防腐蚀处理,具有坚固耐用稳定性高等特点,史陶比尔TX90L智能机器人安装采用加强型独立固定机座,确保稳定精度。
2、技术参数
设备名称 PECVD石墨舟装卸片机
型号规格 PE-3800
适用石墨舟 CT-21-240改造
工位数量 两个石墨舟工位分别为A石墨舟工位B石墨舟工位
换盒传送 伺服定位,自动换盒,更换片盒时设备不停机,
硅片上、下料方式 上料方式:50/62/100片花篮上料;下料方式:堆叠收集
产能 3800片/小时(备注:21片石墨舟)以此为准
压缩空气 压力:≥0.6Mpa
Uptime >98%
电源 AC380V(单相三线制)/50Hz
整机功率 6KW
执行系统 史陶比尔TX90L智能机器人

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